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製品の詳細
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BGY-717

BGY-717
  • 商品詳情

一 適用範囲 

炭化ケイ素ウエハーの研磨に使用される 


二 製品特徴

 1.粒子徑の均一性や分散性に優れる。

2.ダメージフリーの研磨加工面が得られる。  

3.混合した後のスラリーpHが中性で、取り扱いしやすい。

4.たかい切削率が得られる、良品率が高い。

 

三 主要技術指標 

化學成分

コンテンツ

酸化セリウム

58

脫イオン水

9295

その他

1

                

化學や物理的な指標

基準値

D50

80120nm

PH

2-3

赤い

 備考:上記データは顧客様の要求によって調整できる。

 

 四 包裝?荷姿

 5/bucket  20/bucket


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